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想要高效運行離子減薄儀，不懂這些可不行
點擊次數：1218 更新時間：2021-11-03
離子減薄儀有著較快的制樣速度。可以以較小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡( TEM)樣品的制備為該儀器的主要用途。
離子減薄儀的使用注意事項：
一、日常關機
平常結束使用之后沒有必要關機
二、停電關機
1、對氬氣鋼瓶關緊與否進行確認。
2、將總電源關掉。
三、復電開機
1、將氬氣鋼瓶打開
2、將總電源打開
3、對離子槍進行吹掃，從而將離子槍表面水氣去除，防止由于空氣污染導致離子槍不穩定，當室內壓力比5-3e帕要低時，將兩個氣閥開關打開，凈化15分鐘，當離子槍束流值在在5KeV，比8μA低時能夠停止。
4、必須要等到真空度達到5-4e帕才能夠進行正常的工作。
5、當將離子槍拆下又重新裝回需要對離子槍束流和離子束位置進行調整
離子減薄儀的技術指標：
1、樣品臺傾斜范圍：-120到210度，精度為0.1度
2、SEM平面研磨臺：zui大φ25毫米×12毫米，TEM和FIB樣品臺：φ3毫米。
3、能夠設定終止加工透光量閾值來使遠程控制得以實現。
4、冷凍系統使制樣過程溫度不超過25攝氏度得到保證。
5、獨立雙氬離子源，能夠傾斜±45度。
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